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发布时间:2020-09-15 04:02:53
PE镀膜后四周发白浅析,近期经常接到客户咨询,石墨舟镀膜后发现膜后的片子四周发白或四周发红。并且如果是新舟直接用就没有这个问题,用了循环后,清洗后就会发现这个问题。
这次就问题发生的原因做一个说明,并且给大家一些解决方法。
一般来说我们机台出现问题基本上为三类,偏红,正常蓝,偏白(对应表中的淡蓝色,无明确的白色膜厚,此时的白色部分膜厚接近90左右)
硅片在PECVD工序之前是常规的灰白色,通过一定的化学反应在片子表面生成一层膜。片子工艺结束后,就会得到我们需要的工艺颜色。
单层平板碾压,虽然压板平整光滑,但是不能太厚。一次成型太厚时,其均匀性和密度都难以保证。为了制成厚板,采用多层单板叠加,压成多层复合板。每两层之间要加粘结剂再碾压成型。成型后要加热处理,以使粘结剂碳化和硬化。多层平板碾压法是在多层连续碾压机上进行的。
多层连续碾压机工作过程:由单板绕棍引出单板,经过粘结剂涂辊把两面土上粘结剂后,与绕辊和单板相合,成为三和厚板,进入辊的间隙碾压成一定厚度。再送入加热器中加热烘干。通过厚度控制辊,调整厚度达到规定尺寸,然后送入焙烧装置中焙烧。当粘结剂碳化后,在用加压辊加压成型。
石墨的一个主要用途是生产耐火材料,包括耐火砖、坩埚、连续铸造粉、铸模芯、铸模、洗涤剂和耐高温材料。
1. 防范强腐蚀火焰直喷石墨制品的侧面和底砣;
2. 运用适量的助燃剂、添加剂将减少石墨制品的寿命;
3. 拔除石墨制品表里壁熔渣和粘焦时候应轻敲防范损坏石墨制品;
4. 石墨制品严防湿润,存放时候必须放在干燥处或木架上;
5. 运用前需要在干燥设备或炉旁热烘烤,温度逐渐升到500摄氏度;
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