PECVD石墨舟生产商择优推荐 石金科技

石金石墨板教你如何选择真空炉石墨棒：真空炉石墨棒，一般要耐到，其它的金属发热形式的，都达不到这么高的温度，耐石墨，自然界导电的非金属矿物质，其耐温程度可达到3000摄氏度的高温，而又是比较好的导电材料，所以用来做真空炉，热处理炉是比较好的材料之一了，陶瓷也可以耐到几千度，但是陶瓷不导电，所以只是用来做保护套，不用来做发热棒，真空炉石墨棒。

卸出石墨舟后的石墨化炉，先将石墨化冶金焦取出来，并用铁棍砸碎已结成硬块的炉底料(每次约有100-200毫米厚），取出废炉底料并另换新料。立装法的炉子两侧保温料，如没有倒塌而又绝缘状况较好，可以重复利用，但应将表面沾有石墨粉的部份铲去。

炉子的使用寿命与操作和维护有着密切的关系。使用与维护得好的右墨化炉可以连续生产两年之久;使用与维护不好，有可能只生产几炉就毁坏。

PE镀膜后四周发白浅析，近期经常接到客户咨询，石墨舟镀膜后发现膜后的片子四周发白或四周发红。并且如果是新舟直接用就没有这个问题，用了循环后，清洗后就会发现这个问题。

这次就问题发生的原因做一个说明，并且给大家一些解决方法。

一般来说我们机台出现问题基本上为三类，偏红，正常蓝，偏白（对应表中的淡蓝色，无明确的白色膜厚，此时的白色部分膜厚接近90左右）

硅片在PECVD工序之前是常规的灰白色，通过一定的化学反应在片子表面生成一层膜。片子工艺结束后，就会得到我们需要的工艺颜色。